現(xiàn)代數(shù)控機(jī)床的加工精度始終是衡量機(jī)床技術(shù)發(fā)展水平的重要指標(biāo)。體現(xiàn)加工精度的效果如今已經(jīng)不局限于尺寸精度、形狀精度以及表面粗糙度等方面，更體現(xiàn)在微結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)方面。一方面，局部加工的形狀尺度特征向精微方向發(fā)展，另一方面加工的整體形狀向大尺寸方向發(fā)展。
在科技創(chuàng)新的驅(qū)動下，大量帶有微結(jié)構(gòu)的零件加工是當(dāng)前精密機(jī)床發(fā)展面臨的重要任務(wù)。微結(jié)構(gòu)零件的應(yīng)用非常廣泛，比如太陽能發(fā)電元件、手機(jī)導(dǎo)光板、液晶顯示器增亮膜、高速公路顯示板、復(fù)眼透鏡、衍射光柵、傳感器元件、二元光學(xué)元件、微型透鏡等。微結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)使機(jī)床的加工進(jìn)入新的領(lǐng)域。
微結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)對機(jī)床加工提出了新挑戰(zhàn)，機(jī)床的運(yùn)動精度、運(yùn)動的平滑性、阻尼特性都有新的要求，此外加工工藝、機(jī)床刀具、機(jī)床附件也都要發(fā)生新的變化。新的光學(xué)加工技術(shù)，如快刀伺服（FTS）、刨削加工、鑿削加工、確定性磨削等在微加工技術(shù)發(fā)展中產(chǎn)生。用于加工大型圓柱面、圓端面、平面的微結(jié)構(gòu)機(jī)床成為市場競爭的產(chǎn)品。納米壓印復(fù)制工藝技術(shù)相應(yīng)也得到發(fā)展應(yīng)用。
微結(jié)構(gòu)尺寸的變化從幾百微米到幾微米不同，但微結(jié)構(gòu)的加工表面的質(zhì)量都在納米級。帶有微結(jié)構(gòu)的整體零件的尺寸從毫米級到數(shù)米不同。
在微結(jié)構(gòu)的制造設(shè)備領(lǐng)域，日本、德國、美國發(fā)展迅速，出現(xiàn)了很多新機(jī)床產(chǎn)品。典型的公司包括：東芝機(jī)械、發(fā)那科、不二越、庫格勒、Precitech、Nanotechnology等。
值得一提的是微孔精密切削加工在此期間也得到了快速的發(fā)展，德國科恩公司的金字塔超精密機(jī)床，可以用同一把刀具在半導(dǎo)體陶瓷材料上加工上萬個(gè)直徑不超過0.1mm的微孔。
